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產品品牌Atovac
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更新日期2025-04-24 11:17
品牌： |
Atovac |
所在地： |
四川 成都市 |
起訂： |
≥1 個 |
供貨總量： |
100 個 |
有效期至： |
長期有效 |
壓力范圍（滿量程）： |
1、2、10、100、1000 |
精度： |
±0.25%讀數 |
最大壓力： |
310Kpa |
ACM200電容薄膜真空計
ACM200 電容薄膜壓力計，通常安裝在真空腔體或管道上，讀取實時壓力，±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的，廣泛用于半導體工程和真空工業設備。
特點
直接測量方式測量壓力
無關氣體組分影響
可應用于腐蝕性氣體環境，適合于各類制程應用
可搭配Atovac儀表，實時顯示
測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr，覆蓋大多數制程壓力范圍
規格
壓力范圍（滿量程）
1、2、10、100、1000
最低壓力
0.01%滿量程
精度
±0.25%讀數
可選：±0.15%讀數
溫度效應
零點
跨度
0.002% 滿量程/°C
0.02% 讀數/°C
工作環境溫度
0℃至50℃
暴露于氣體中的材料
鉻鎳鐵合金
泄漏率
1x10-8sec/sec He
最大壓力
310Kpa
電源要求
±15VDC (±5%) @ 35 mA
輸出信號
0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load
法蘭
8 VCR, NW16KF
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